基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱(chēng)：S3022F兩通道源表雙通道精密源表

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-11-14

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

S3022F兩通道源表雙通道精密源表，2通道，電壓范圍±100nV到±200V，電流范圍100fA到±3A，其中脈沖可以到±10A，最大輸出功率30W，最大采樣率1MS/s

產(chǎn)品特性Product characteristics

“精"——上海市先JIN企業(yè)!

“專(zhuān)"——專(zhuān)注工業(yè)測(cè)試十六年!

“特"——德國(guó)萊茵TUV認(rèn)證供應(yīng)商!

“新"——注冊(cè)資本實(shí)繳壹仟萬(wàn)元!實(shí)繳資金行業(yè)中居前茅!抗金融風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)!

S3022F兩通道源表雙通道精密源表，2通道，電壓范圍±100nV到±200V，電流范圍100fA到±3A，其中脈沖可以到±10A，最大輸出功率30W，最大采樣率1MS/s

雙通道兩通道2通道源表S3022F是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式精密源表(SMU)，能夠同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流，提供更高的輸出能力和更高的精度，支持多機(jī)同步測(cè)試。為用戶提供±200V、±3A（直流）、±10A（脈沖）、最大30W功率輸出，最大采樣率 1MS/s，最小測(cè)量分辨率100fA/100nV。 

1 產(chǎn)品描述 

S3022F 精密電源/測(cè)量單元是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式電源/測(cè)量單元(SMU)，能夠同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流。這些功能使得S3022F成為既需要高分辨率，又需要高精度的各種 IV(電流與電壓)測(cè)量任務(wù)的理想選擇。S3022F 以適中的價(jià)格提供優(yōu)異的性能。它擁有寬泛的電壓源(±200V)和電流源(±3A 直流和±10A 脈沖)功能，出色的精度，6位半的顯示(100fA/100nV顯示分辨率)以及彩色LCD圖形用戶界面(GUI)。 

2 產(chǎn)品特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì) 

量程 

大電壓大電流量程：±200V、±3A(直流)、±10A(脈沖)，單臺(tái) SMU 產(chǎn)品即可同時(shí)滿足高電壓和大電流測(cè)量需求， 從而推動(dòng)測(cè)量?jī)x器的標(biāo)準(zhǔn)化，并簡(jiǎn)化資產(chǎn)管理和支持工作。 

最小測(cè)量分辨率 

最小測(cè)量分辨率可達(dá)100fA/100nV，可以使用低成本的臺(tái)式 SMU 進(jìn)行低電平測(cè)量，而以前則需要使用昂貴的半導(dǎo)體器件分析儀。 

高速測(cè)量 

最高可支持1MS/s的ADC采樣率，NPLC和采樣率可選。 

傳感模式 

支持2線或4線（遠(yuǎn)程傳感）連接；最大傳感引線電阻：1 kΩ（額定精度）；遠(yuǎn)程傳感輸出端與傳感端最大電壓：2V 

SWEEP模式 

支持單邊和雙邊的線性，對(duì)數(shù)，列表掃描。間隔從1μs至16s可配置，單次掃描最大64K點(diǎn) 

雙邊對(duì)數(shù)掃描 

自動(dòng)量程 

支持單點(diǎn)，掃描自動(dòng)量程。過(guò)沖敏感設(shè)備建議切換量程前關(guān)閉輸出再做量程切換動(dòng)作。 

延時(shí)測(cè)量 

支持延時(shí)測(cè)量，建議用戶設(shè)置合適的SOURCE DELAY以獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量值。 

Source Delay 設(shè)置示意圖 

注意：Source delay 必須大于源建立的時(shí)間，當(dāng)采樣值不準(zhǔn)，需要考電Source delay是否合理，特別是小電流最程。 

保護(hù) 

支持過(guò)溫保護(hù)，當(dāng)檢測(cè)到內(nèi)部溫度過(guò)高時(shí)，輸出關(guān)閉，待溫度回到65度以下會(huì)恢復(fù)操作使用； 

當(dāng)輸出超出 OVP 設(shè)定值時(shí)關(guān)閉輸出，設(shè)備重置后可進(jìn)一步操作，精度：± (1%Setting+500mV) 

支持傳統(tǒng)和默認(rèn)的 SCPI 命令 

支持傳統(tǒng)的 SCPI 命令，并可以部分兼容較舊的 SMU 代碼(例如 Keithley 2400系列)，從而盡量減少代碼轉(zhuǎn)換工作。 

5.0 英寸彩色LCD電容觸摸屏 

采用5.0英寸彩色LCD電容觸摸屏，提供了簡(jiǎn)單易用的前面板GUI，可快速輕松地在前面板上進(jìn)行測(cè)量和顯示數(shù)據(jù)，顯著加速交互式測(cè)試、表征和調(diào)試操作。 

軟件功能 

GUI非常直觀和簡(jiǎn)潔，無(wú)需編程即可從 PC 進(jìn)行遠(yuǎn)程測(cè)量和控制。 

電源 

電壓范圍：100-240VAC，頻率范圍：50/60Hz， 

最大功率：250W ，保險(xiǎn)絲規(guī)格：T3.15AH 250 VAC 

預(yù)熱 1 小時(shí) 

尺寸（mm） 429*441*112(含腳墊、把手及旋鈕) 

重量 凈重 8 kg 

標(biāo)準(zhǔn)出廠附件：電源線，USB線，網(wǎng)線，紅色測(cè)試線，黑色測(cè)試線，U盤(pán)（包括PDF手冊(cè)、快速測(cè)量軟件和驅(qū)動(dòng)程序）。 

產(chǎn)品型號(hào) 

S3022F 雙通道精密型電源/測(cè)量單元，脈沖源 

可選附件 

TA-01000 

S3022F 輸出擴(kuò)展連接裝置 ，250V,1A,4W,Triaxial 

耗材/配件 

TA-03001 三同軸輸出線，公對(duì)公，0.6米，250V，1A 

TA-03002 三同軸輸出線，公對(duì)公，1.5米，250V，1A 

TA-03003 三同軸輸出線，公對(duì)公，4米，250V，1A 

雙通道源表S3022F

臺(tái)式200V雙通道精密源表

 S3022F 雙通道精密電源/測(cè)量單元 是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的雙通道臺(tái)式電源/測(cè)量單元(SMU)，能夠同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流，提供更高的輸出能力和更高的精度，豐富的液晶屏操作界面極大的提高測(cè)試效率。

特點(diǎn)

高量程

量程：±200 V、±3 A（直流）、±10A（脈沖）

高分辨率

最小測(cè)量分辨率可達(dá)100 fA/100 nV

高采樣率

最高可支持1M的ADC采樣率

閾值觸發(fā)

硬件高速I(mǎi)O，可實(shí)現(xiàn)閾值觸發(fā)，實(shí)現(xiàn)輸出測(cè)量值和用戶系統(tǒng)的高效交互

功能與優(yōu)勢(shì)

集成五大功能于一身

電壓源

電流源

電流表

電壓表

電子負(fù)載

一、三象限為源：輸出V/I的實(shí)際極性跟隨源設(shè)定；

二、四象限為負(fù)載：CC和CV配合，當(dāng)負(fù)載用時(shí)，負(fù)載設(shè)定極性與源極性相反；

可測(cè)試各種設(shè)備

捕獲更多的測(cè)量數(shù)據(jù)

? 6 位半的數(shù)字分辨率: 精度相當(dāng)于6 位半數(shù)字萬(wàn)用表；

? 100 fA / 100 nV分辨率: 設(shè)置與測(cè)量靈敏度；

? 1M點(diǎn)/秒: 提供高速測(cè)量，可以快速設(shè)置/數(shù)字化率于任意波形發(fā)生器/列表掃描；

豐富的掃描功能

S3022F兩通道源表雙通道精密源表

電壓源指標(biāo)

電壓設(shè)置精度

量程設(shè)置分辨率精度(1 年)±(%讀數(shù)+ 偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz

±200 V1 mV0.02%+30 mV1.5 mV

±20 V100 μV0.02%+2 mV160 μV

±6 V50 μV0.02%+500 μV36 μV

±200 mV1 μV0.02%+120 μV4 μV

溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

單通道最大輸出功率30W: ±[email protected];30W: ±200 [email protected];18W: ±6 V@3A

設(shè)置時(shí)間<800μs(典型值)

過(guò)沖<±0.1% (典型值，Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試)

噪聲 10Hz-20MHz6V 電壓源，3A 電阻負(fù)載，<3 mVrms

[1]精度計(jì)算示例：測(cè)試200mV量程120mV輸出的精度，則允差為：

[2]本儀表有潛在的危險(xiǎn)高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開(kāi)機(jī)前必須做好相關(guān)的安全防范措施。請(qǐng)勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機(jī)箱地或是輸出LO，否則會(huì)損壞儀表

電流源指標(biāo)

電流設(shè)置精度

量程設(shè)置分辨率精度(1 年)±(% 讀數(shù)+偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz

±10 A150 μA0.4% + 40 mANA

±3 A15 μA0.05% + 2 mA40 μA

±1.5 A10 μA0.02% + 500 μA20 μA

±150 mA1 μA0.02% + 25 μA5 μA

±15 mA100 nA0.02% + 6 μA700 nA

±1.5 mA10 nA0.02% + 250 nA16 nA

±150 μA1 nA0.02% + 25 nA21 nA

±15 μA100 pA0.02% + 3 nA140 pA

±1.5 μA10 pA0.03% + 450 pA25 pA

±150 nA1 pA0.05%+250 pA5 pA

溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

單通道最大輸出功率30W: ±[email protected];30W: ±200 [email protected];18W: ±6 V@3A

設(shè)置時(shí)間<500 μs(典型值)

過(guò)沖<±0.1% (典型值，Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試)

1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值

電壓表指標(biāo)

電壓測(cè)量精度

量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)

±200 V100 μV0.02% + 30 mV

±20 V10 μV0.02% + 2 mV

±6 V1 μV0.02% + 500 μV

±200 mV100 nV0.02% + 120 μV

溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

電流表指標(biāo)

電流測(cè)量精度

量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)

±10 A110 μA0.4% + 25 mA

±3 A10 μA0.05% + 2 mA

±1.5 A1 μA0.02% + 500 μA

±150 mA100 nA0.02% + 25 μA

±15 mA10 nA0.02% + 6 μA

±1.5 mA1 nA0.02% + 250 nA

±150 μA100 pA0.02% + 25 nA

±15 μA10 pA0.02% + 3 nA

±1.5 μA21 pA0.03% + 450 pA

±150 nA2100 fA0.05% + 250 pA

溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值

2、小電流測(cè)量，建議使用三同軸線纜連接：ForceHi接芯線，Guard接內(nèi)屏蔽層，外屏蔽層接保護(hù)地，F(xiàn)orceLo接芯線，內(nèi)屏蔽層不接，外屏蔽層接保護(hù)地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。

電阻表指標(biāo)（4 線）

電阻測(cè)量精度

量程顯示分辨率默認(rèn)測(cè)量電流典型精度(1 年)

±(% 讀數(shù)+偏置)

1 Ω1 μΩ1.5 A0.073% +0.3334 mΩ

10 Ω10 μΩ150 mA0.057% + 3.334 mΩ

100 Ω100 μΩ15 mA0.08% + 33.34 mΩ

1 kΩ1 mΩ1.5 mA0.057% + 333. 4 mΩ

10 kΩ10 mΩ150 μA0.057% + 3.334 Ω

100 kΩ100 mΩ15 μA0.06% + 33.34 Ω

1 MΩ1 Ω1.5 μA0.06% + 333.4 Ω

10 MΩ10 Ω0.15 μA0.35% + 3.334 kΩ

100 MΩ100 Ω0.05 μA0.95% + 10 kΩ

溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

手動(dòng)電流源電阻測(cè)量（四線）總體誤差=測(cè)量電壓/電流源設(shè)定電流=電阻讀數(shù)x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值) 示例：電流源設(shè)定電流=1.5A 電壓測(cè)量量程=6V 總體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ

脈沖源指標(biāo)（4線）

最小可編程脈寬100 μs

脈寬編程分辨率1 μs

脈寬編程精度±10 μs

脈寬抖動(dòng)2 μs

脈沖寬度定義如下圖所示，從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時(shí)間

脈沖技術(shù)指標(biāo)最大電流限制最大脈沖寬度最大占空比

10.15 A/200 VDC,無(wú)限制100%

21.5 A/20 VDC,無(wú)限制100%

33 A/6 VDC,無(wú)限制100%

43 A/20 V1 ms10%

510 A/6 V1 ms10%

脈沖源上升時(shí)間（4 線）

輸出量程典型上升時(shí)間 1,3典型穩(wěn)定時(shí)間 2,3測(cè)試負(fù)載

電壓源

200 V600 μs1.5 ms空載

20 V200 μs360 μs空載

6 V160 μs300 μs空載

電流源

10 A140 μs320 μs滿載

3 A120 μs280 μs滿載

1.5 A120 μs280 μs滿載

150 mA120 μs280 μs滿載

15 mA120 μS280 μs滿載

1.5 mA120 μS280 μs滿載

1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時(shí)間。

2, 脈沖達(dá)到距離最終值 1%的所需的時(shí)間。

3, 電流源測(cè)試基于 6V 電壓量程下測(cè)試，105%滿量程鉗位設(shè)定。

I-V 輸出能力

輸出建立時(shí)間

輸出

量程

典型輸出建立時(shí)間

測(cè)試條件

Fast 1,2Normal 1Slow1

電壓源

200 V<1.3 ms<1.5 ms<2.5 ms

在開(kāi)路負(fù)載條件下，達(dá)到距離最終值 0.1% 以內(nèi)所需的時(shí)間。

步進(jìn)是范圍 10% 至90%。

20 V<300 μs<360 μs<1 ms

6 V<150 μs<250 μs<1 ms

200 mV<200 μs<250 μs<1 ms

電流源

3 A<200 μs<280 μs<1.2 ms

滿載條件下，達(dá)到距離最終值0.1%以內(nèi)(對(duì)于3A范圍，為0.3%)所需的時(shí)間。

步進(jìn)是范圍的10%至90%。6V電壓量程，105%滿量程鉗位設(shè)定。

1.5 A<200 μs<280 μs<1.2 ms

150 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms

15 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms

1.5 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms

150 μA<250 μs<300 μs<1.2 ms

15 μA<250 μs<1.2 ms<2 ms

1.5 μA<600 μs<1.2 ms<5 ms

150 nA<600 μs<5 ms<12 ms

1、輸出轉(zhuǎn)換速率：Fast,Normal,Slow。

2、Fast 模式在不同的量程或負(fù)載條件下輸出可能會(huì)出現(xiàn)較大過(guò)沖，過(guò)沖敏感設(shè)備建議用 Slow 模式。

采樣率及 NPLC 設(shè)置

配置方式配置范圍

NPLC0.00005 PLC ~ 10 PLC

Sampling Rate5 sps ~ 1 Msps

電壓源指標(biāo)

[1]精度計(jì)算示例：測(cè)試200mV量程120mV輸出的精度，則允差為：

[2]本儀表有潛在的危險(xiǎn)高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開(kāi)機(jī)前必須做好相關(guān)的安全防范措施。請(qǐng)勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機(jī)箱地或是輸出LO，否則會(huì)損壞儀表

電流源指標(biāo)

1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值

電壓表指標(biāo)

電流表指標(biāo)

1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值

2、小電流測(cè)量，建議使用三同軸線纜連接：ForceHi接芯線，Guard接內(nèi)屏蔽層，外屏蔽層接保護(hù)地，ForceLo接芯線，內(nèi)屏蔽層不接，外屏蔽層接保護(hù)地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。

電阻表指標(biāo)（4 線）

脈沖源指標(biāo)（4線）

脈沖源上升時(shí)間（4 線）

1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時(shí)間。

2, 脈沖達(dá)到距離最終值 1%的所需的時(shí)間。

3, 電流源測(cè)試基于 6V 電壓量程下測(cè)試，105%滿量程鉗位設(shè)定。

輸出建立時(shí)間

1、輸出轉(zhuǎn)換速率：Fast,Normal,Slow。

2、Fast 模式在不同的量程或負(fù)載條件下輸出可能會(huì)出現(xiàn)較大過(guò)沖，過(guò)沖敏感設(shè)備建議用 Slow 模式。